ICP霧化器為雙層結構，外管為載氣通路，內管為樣品管，內外管精確定位，載流進入外管，在噴口處形成極速氣流、負壓，引導樣品溶液噴出并成樣品氣溶膠。通常情況下，設計應用范圍是固體溶解量小于1%的樣品，具有靈敏度高、精度好等突出優點，可適用于有機及無機等多種樣品。具有的使用效率，配合旋流霧室應用，對常規低鹽樣品可獲得出色的檢出極限。同樣，霧化器還有高鹽式設計，適應鹽分含量可達15%。但要注意清洗，否則會發生堵塞。對于高鹽樣品，是D霧化器，D型應配雙層霧室，A型旋流霧室，接霧化器。主要調整霧化器插入旋流霧室的深度及松緊度。注意：霧化器頂端的噴霧情況，要求霧化器充分插入，使密封圈緊密，無漏氣。
ICP霧化器的保養：
霧化器在使用一段時間之后，會有部分沉淀累積，或發生堵塞。為了使分析數據更加可靠，霧化效果。通常可用適當的清洗溶劑浸泡，以溶解霧化器上的沉積物、消除影響，但不要使用超聲波清洗器。
故障處理及維護：
1、用氣體從噴口處反向吹氣，或用配備注射器注滿水后反向注射，使其暢通。
2、從噴口處滴入一滴濃氫氟酸流入內管，大約5秒后用水沖凈，再用氣體反向吹通。
